Тайвань получил литограф, который «рисует» микросхемы электронными лучами
Нет нужды в фотошаблонах Американская компания Multibeam получила первый заказ на Тайване. Национальный университет Цинхуа (NTHU) внедрит платформу многолучевой электронно-лучевой литографии MBX, которая будет использоваться для исследований и разработки технологий нового поколения в области микроэлектроники. Поставка оборудования запланирована на 2027 год. Изображение: Multibeam Система появится в Колледже полупроводниковых исследований NTHU. Ее планируют использовать не только в научных…