В России создали суверенную установку электронно-лучевой литографии для выпуска чипов
В России создана установка электронно-лучевой литографии для
изготовления фотошаблонов и формирования рисунка на подложках без использования
маски. Оборудование с проектными нормами 150 нм разработал Зеленоградский
нанотехнологический центр, сейчас опытные образцы проходят испытания.
Это отрывок статьи. Полную версию читайте на сайте источника по ссылке ниже.
Упоминания в статье
Россия