Россия создала собственный литограф, он позволяет выпускать 150-нанометровые чипы
И при этом не нужны маски В России разработали установку электронно-лучевой литографии с проектными нормами 150 нм, её создал Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ). Два опытных образца уже проходят комплексные испытания, которые продлятся около четырех месяцев. Изображение сгенерировано ChatGPT Установка предназначена для безмасковой литографии — она позволяет напрямую формировать рисунок микросхем на кремниевых и других подложках, а также изготавливать фотошаблоны без использования ма









