LG запустила продажи собственного литографа за $2 млн — без фотошаблонов и с точностью до 1,5 мкм

Он работает с по-настоящему большими подложками

Институт производственных технологий LG (LG Production Engineering Research Institute, LG PRI) начал коммерческие поставки собственной системы прямой лазерной литографии высокого разрешения (Laser Direct Imaging, LDI). Первыми заказчиками стали LG Innotek и один из зарубежных производителей печатных плат.

Стоимость одной установки составляет примерно $2 млн. В LG сообщили, что система лишь недавно вышла в серийное производство, однако компания уже ведет переговоры с новыми клиентами и реализует совместные проекты.

Главная особенность новой разработки — полный отказ от фотошаблонов. Вместо них рисунок формируется непосредственно ультрафиолетовым лазером, который наносит схему сразу на поверхность заготовки. Такой подход позволяет существенно сократить время подготовки производства, упростить внесение изменений в конструкцию изделий и снизить производственные затраты, особенно при выпуске небольших партий.

По данным LG, система способна создавать элементы размером от 1,5 до 3 микрометров. Для повышения точности она оснащена фирменной технологией RTAC (Real-Time Active Compensation), которая в режиме реального времени отслеживает и компенсирует возможные деформации материала во время экспонирования. Это позволяет работать с крупными подложками размером до 600 × 600 мм.

Новая установка рассчитана на производство современных полупроводниковых подложек и слоев перераспределения соединений (RDL). Она поддерживает работу с различными материалами — от традиционных печатных плат до кремниевых пластин и перспективных стеклянных подложек. В LG рассчитывают, что оборудование найдет применение при выпуске современных решений для упаковки микросхем, включая технологии FoCoS и CoPoS.